Vårt team har omkonstruerat en 20 år gammal lastport med hjälp av modern teknik och gjort den kostnadseffektiv. Denna lösning har bidragit inom följande områden:
- en wafermiljö som alltid är ren
- kassettöverföring med hjälp av isoleringsteknik (SMIF-gränssnitt under kassettöverföringen)
- Omkonstruktion och byte av komponentleverantörer minskade kostnaderna med 30 %.
- justerbar golvmonterad bas för enkel installation
- modern design som uppfyller halvledarindustrins standarder
Ladda ner fallstudien